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L'imageur TDI a une efficacité quantique de plus de 70% dans la région (presque) ultraviolette (UV), ce qui en fait un outil approprié pour la vision industrielle, en particulier l'inspection dans les processus de fabrication de semi-conducteurs.
L’imageur spécialisé élargit le portefeuille d’imageurs TDI basé sur CCD dans CMOS d’imec, proposé au travers de divers modèles commerciaux, allant de la conception entièrement personnalisée aux caméras d’évaluation.
Le nouvel imageur a été fabriqué à l’aide de la technologie TDI CCD-in-CMOS d’imec, associant les pixels CCD TDI et la lecture CMOS dans une seule technologie. Cette combinaison permet de réaliser le meilleur des deux mondes sur un seul imageur à balayage de ligne: performances TDI très sensibles et à faible bruit et intégration sur puce de circuits de lecture rapides et complexes.
La sensibilité aux UV est obtenue en appliquant la technologie d’illumination arrière de imec en combinaison avec un revêtement antireflet dédié. Avec l'éclairage arrière, la lumière pénètre directement dans l'imageur par l'arrière, ce qui améliore considérablement l'efficacité quantique du capteur d'image. En ajoutant un revêtement antireflet spécifique aux UV, on obtient une efficacité quantique maximale supérieure à 70% dans la région (presque) UV de 250 à 400 nm. La sensibilité aux longueurs d'onde inférieures au visible permet à l'imageur de détecter de très petites caractéristiques, ce qui rend la technologie particulièrement intéressante pour les applications d'inspection de semi-conducteurs, telles que l'inspection de masques, de plaquettes et de particules.
Les capteurs TDI sont fabriqués sur des tranches de 200 mm en utilisant le module de traitement CCD d’imec dans son flux de traitement CMOS de 130 nm. Ce flux de fabrication économique est compatible avec d'autres techniques de post-traitement au niveau de la tranche, telles que l'intégration de filtres spectraux pour des performances TDI améliorées. Les capteurs d’image résultants ont une sensibilité et une vitesse élevées (cadence jusqu’à 300 kHz) et une faible consommation d’énergie.
"Nous pouvons désormais offrir des capteurs d'image TDI CCD dans CMOS avec une efficacité quantique élevée dans les plages UV et visible, permettant une multitude d'applications haut de gamme, y compris la télédétection, l'imagerie médicale et la vision industrielle", déclare Maarten Rosmeulen, de Imec .
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